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设备根据低相干干与原理,热诚非触摸式光学丈量,并装备高精度移动渠道和视觉校对体系,主动丈量产品的厚度及空气距离。
XY渠道热诚直线电机及高精度光栅尺,重复定位精度±0.001mm,方位精度±0.001mm;
⑷ 取决于被测资料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4**反射条件下给出的。
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